Oxalumina Ceramic Suction Cup Plate är en revolutionerande produkt inom området för precisionshanteringssystem. Den är gjord av α-aluminiumoxidkeramik (α-Al₂O₃) med en renhet på ≥99,9 %, kombinerat med en konstruerad porös struktur för att uppnå optimal vakuumfördelning. Jämfört med traditionella metall- eller polymersugkoppar eliminerar denna keramiska lösning helt risken för partikelkontamination, samtidigt som den tål extrema temperaturer (1750°C kontinuerlig drift) och korrosiva miljöer. Dess unika mikrostruktur (2-5 μm enhetlig porstorlek, 3,89 g/cm³ densitet) säkerställer submikron planhet (ytråhet Ra≤0,1 μm), vilket gör den till den enda professionella sugkoppsplattformen som kan hantera 300 mm halvledarskivor med en sugnoggrannhet på ±0,1 μm.
1. Genombrott i materialprestanda
Termisk stabilitet: ingen deformation i 800°C termiska chockcykler och en livslängd som är 5 gånger längre än den för legerade sugkoppar (processmiljö med hög temperatur).
Kemisk beständighet: 1-års viktminskning med 30 % svavelsyranedsänkning är mindre än 0,01 g, lämplig för batterielektrolytdrift och kemisk ångavsättningsprocess.
Isoleringsprestanda: Nedbrytningsfältstyrkan når 40kV/mm, vilket säkerställer säker drift i plasmaetsningskammaren.
2. Teknisk designinnovation
Porositetskontroll: 40 % porositet uppnås genom gelformsprutningsprocess, och 1-3μm porväggstrukturen förhindrar ultratunna delar (≤50μm) från adsorption och deformation.
Intelligent arkitektur: Inbyggd temperatursensor stöder värmehantering i realtid från -196 ℃ till miljö med ultrahög temperatur.
